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はじめての薄膜作製技術
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 草野英二著
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : 工業調査会, 2006.3
- 形態:
- 191p : 挿図 ; 21cm
- 著者名:
- 草野, 英二(工学) <DA15379289>
- シリーズ名:
- ビギナーズブックス ; 40 <BA38795526>
- 書誌ID:
- BA76159723
- ISBN:
- 9784769312529 [4769312520]
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