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製造プロセス編

フォーマット:

図書

責任表示:

角南英夫著

言語:

日本語

出版情報:

東京 : コロナ社, 2006.8

形態:

xii, 189p ; 26cm

著者名:

シリーズ名:

電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学||VLSI コウガク <BA56251155>

書誌ID:

BA81206403

ISBN:

9784339018875 [4339018872]

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詳細

その他の標題:	VLSI technology : fabrication processes
主題:	集積回路
分類・件名:	NDC9 : 549.7 NDLSH : 集積回路
注記:	引用・参考文献: p[177]-186
タイトルのヨミ、その他のヨミ:	セイゾウプロセスヘン
TTLL:	jpn
著者名ヨミ:	デンシジョウホウツウシンガッカイスナミ, ヒデオ

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