>> Google Books
QRコード(所蔵情報)

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

フォーマット:
図書
責任表示:
小島啓安著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 日刊工業新聞社, 2008.8
形態:
ix, 384p ; 21cm
著者名:
小島, 啓安  
書誌ID:
BA87015099
ISBN:
9784526061196 [4526061190]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
子書誌情報
Loading
所蔵情報
Loading availability information
タイトル・著者・出版者が同じ資料

類似資料:

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12
 
1 図書 (ZrTi+PbO)ターゲットを用いたRF反応性スパッタ法によるPZT薄膜の低温作製と評価

張, 崴暁(1962-)

張崴暁
7 学位論文 高周波スパッタリングで作製した酸化亜鉛圧電薄膜の結晶構造解析と圧電素子への応用

吉野, 幸夫

金沢大学
2 図書 合金組成比を任意に制御できる低温・高速スパッタ装置の開発研究

畑, 朋延(1938-)

金沢大学工学部
8 図書 ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着に関する研究

上村, 彰宏

[上村彰宏]
3 図書 酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の形成の研究

千葉, 忍

[千葉忍]
9 その他 ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着性に関する研究

上村, 彰宏, Uemura, Akihiro

金沢大学
4 図書 新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

畑, 朋延(1938-)

[畑朋延]
10 図書 スパッタ技術

和佐, 清孝, 早川, 茂

共立出版
5 その他 酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の形成の研究

千葉, 忍, Chiba, Shinobu

金沢大学
11 図書 制限反応スパッタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究

[佐々木公洋]
6 図書 高周波スパッタリングで作製した酸化亜鉛圧電薄膜の結晶構造解析と圧電素子への応用

吉野, 幸夫(1953-)

吉野幸夫
12 論文 制限反応スパッタ製膜法による高誘電率YSZ絶縁膜の研究

佐々木, 公洋, Sasaki, Kimihiro

金沢大学理工研究域電子情報通信学系