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マイクロ・ナノ領域の超精密技術

フォーマット:
図書
責任表示:
日本学術振興会将来加工技術第136委員会編
言語:
日本語
出版情報:
東京 : オーム社, 2011.3
形態:
ix, 374p : 挿図 ; 22cm
著者名:
日本学術振興会将来加工技術第136委員会 <DA11194044>  
書誌ID:
BB05402454
ISBN:
9784274210051 [4274210057]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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