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光・プラズマプロセシング

フォーマット:
図書
責任表示:
明石和夫 [ほか] 編
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 日刊工業新聞社, 1986.9
形態:
xii, 370, viip ; 22cm
著者名:
明石, 和夫(1928-) <DA00490613>  
書誌ID:
BN00432780
ISBN:
9784526020780 [4526020788]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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1 図書 プラズマプロセシングの基礎

Chapman, Brian N., 岡本, 幸雄

電気書院
7 論文 熱プラズマにおける非平衡性(<小特集>材料プロセッシングを支える熱プラズマの新展開)

田中, 康規, 渡辺, 隆行

Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research = プラズマ・核融合学会
2 図書 自然に学ぶ材料プロセッシング

名古屋大学Nature COE, 名古屋大学21世紀COE「自然に学ぶ材料プロセッシングの創成」教科書編集委員会, 浅井, 滋生(1943-)

三共出版
8 論文 熱プラズマによるナノ粒子の合成(<小特集>材料プロセッシングを支える熱プラズマの新展開)

渡辺, 隆行, 田中, 康規

Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research = プラズマ・核融合学会
3 図書 プラズマ/プロセスの原理

Lieberman, M. A. (Michael A.), Lichtenberg, Allan J, 佐藤, 久明, 堀, 勝(1958-)

丸善
9 図書 レーザープロセシング

レーザー学会

日経技術図書
4 図書 半導体プラズマプロセス技術

菅野, 卓雄(1931-)

産業図書
10 図書 超LSIプロセシング

菅原, 活郎(1942-), 福田, 宏

培風館
5 図書 低温プラズマ材料化学

長田, 義仁(1943-)

産業図書
11 図書 プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門

市川, 幸美, 佐々木, 敏明, 堤井, 信力

内田老鶴圃
6 図書 超微細パターニング技術 : 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

高原, 淳

サイエンス&テクノロジ-
12 図書 グリーンマテリアルテクノロジー : 環境にやさしい無機プロセスと材料

工藤, 徹一, 御園生, 誠

講談社