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微細加工 : サブミクロン素子への展開
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 中野朝安 [ほか] 著
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : 東京電機大学出版局, 1989.3
- 形態:
- vi, 240p ; 21cm
- 著者名:
- 中野, 朝安(1923-) <DA00045916>
- 書誌ID:
- BN03301767
- ISBN:
- 9784501313302 [4501313307]
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