波長シフト干渉計を用いる高温粗面物体の3次元形状計測

フォーマット:

論文

責任表示:

安達, 正明 ; Adachi, Masaaki

言語:

日本語

出版情報:

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering, 2016

著者名:

• 安達, 正明
• Adachi, Masaaki

掲載情報:

精密工学会学術講演会講演論文集 = 2016 JSPE Autumn Conference

巻:

2016 Autumn

通号:

B13

開始ページ:

31

終了ページ:

32

バージョン:

publisher

概要:

金沢大学理工研究域機械工学系<br />光軸方向に激しい光路差変動の残る状況で使える，波長シフト干渉計を用いる粗面物体の３次元形状計測法を開発している．これまで高温のドライヤー風を吹き付ける状況での形状計測結果を報告してきた．今回は，通電し高温になったハンダごての形状をドライヤーの冷風をあてて測定した．干渉像の位相抽出のための位相シフト量計算を行う空間サイズの効果を，こての温度別に評価した.<br />出版者照会後に全文公開

URL:

http://hdl.handle.net/2297/00049984