ホロカソード放電型スパッタ装置によるフリーカーボン含有高潤滑コーティング膜の創成

フォーマット:

論文

責任表示:

細川, 晃 ; Hosokawa, Akira

言語:

日本語

出版情報:

2015-06-09

著者名:

• 細川, 晃
• Hosokawa, Akira

掲載情報:

平成26(2014)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 = 2014 Fiscal Year Final Research Report

巻:

2012-04-01 - 2015-03-31

開始ページ:

5p.

バージョン:

author

概要:

金沢大学理工研究域機械工学系<br />“ホローカソード放電型スパッタ装置(HCD)”と同等の機能を有しながら，機能性・拡張性に富む “アーク放電収束プラズマ輸送型イオンプレーティング装置(VACS-100)”を用い，ドロップレットがほとんどない極めて平滑なコーティング膜の生成に成功した．FAD(Filtered Arc Deposition)法を成膜原理とするこの装置で生成したTiN膜は，通常のAIP法やHCD法に … 比べて膜硬度や密着性に優れており，この膜をコーティングしたエンドミルは，プリハードン鋼(JIS SUS420J2)の乾式側面切削において良好な耐摩耗性と切削性を示した．<br />Availability of the TiN-coated film deposited by Filtered Arc Deposition (FAD) method is investigated. In FAD method, the extremely smooth surface is formed without any droplets (macro particles) due to the magnetic filtering. The mechanical properties such as hardness, adhesion strength and friction coefficient of coated film depend considerably on the deposition conditions. The TiN-coated end mill has good mechanical properties such as hardness and adhesion strength when the bias voltage is -50 V with N2 flow rate of 20 cc/min, and this tool is effective in high speed milling of prehardened steel (JIS SUS420J2) than commercially available AIP and HCD (Hollow cathode discharge) tools.<br />研究課題/領域番号:24360054, 研究期間(年度):2012-04-01 - 2015-03-31 続きを見る

URL:

http://hdl.handle.net/2297/00053770