物理気相蒸着法により作製したガス吸着膜の特性解明とガス検知センサへの応用

フォーマット:

論文

責任表示:

岩森, 暁 ; Iwamori, Satoru

言語:

日本語

出版情報:

2012-05-31

著者名:

• 岩森, 暁
• Iwamori, Satoru

掲載情報:

平成23(2011)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書 = 2011 Fiscal Year Final Research Report

巻:

2009 – 2011

開始ページ:

6p.

バージョン:

author

概要:

東海大学 / 金沢大学理工学域機械工学系<br />近年環境問題の高まりから、現場環境計測技術の重要性が高くなっている。各種の微量濃度のガスを検知するセンサとして、水晶微小天秤法(QCM)は有効な手法である。いくつかの物理気相蒸着法(高周波スパッタリング、蒸着重合、プラズマ支援蒸着重合)により水晶振動子(QCM)電極上に有機薄膜を形成し、揮発性有機溶剤(VOC)のガス吸着特性をQCM法により評価した。本吸着は物理吸着であり、QCM電極上に形成した有機薄膜の極性、及 … び薄膜の密度に影響されることが分かった。また、低分子量のVOCに対する感度もVOCの官能基に特異性を示し、VOCの簡易検知センサとして応用できる可能性を示した。<br />Highly sensitive detection methods for volatile organic compounds(VOCs) are needed in working environment handling the VOCs. The use of a quartz crystal microbalance(QCM) is one such method, and we report on adsorption properties of organic thin films deposited onto the QCM electrode by physical vapor depositions, e. g., vacuum evaporation, plasma-assisted vacuum evaporation and r. f. sputtering, for low molecular weight VOCs. The adsorption phenomenon is considered to be a physical adsorption. Polarization and density of these organic thin films affect adsorption mass of these VOC molecules. In the fluorocarbon thin films sputtered with a Poly(tetrafluoroethylene)(PTFE) target, sensitivities for these aliphatic alcohols were almost the same level, however the sensitivities for acetone were higher than those for these aliphatic alcohols. It is considered that these organic thin films can be used for a sensor of detection of these VOCs.<br />研究課題/領域番号:21560744, 研究期間(年度):2009 – 2011 続きを見る

URL:

http://hdl.handle.net/2297/00059638