薄膜トランジスタ高性能化を目指した固相成長多結晶シリコン薄膜に関する構造学的及び電気的基礎研究

フォーマット:

その他

責任表示:

竹中, 敏 ; Takenaka, Satoshi

言語:

日本語

出版情報:

金沢大学, 2000-06-01

著者名:

• 竹中, 敏
• Takenaka, Satoshi

掲載情報:

博士学位論文要旨　論文内容の要旨および論文審査結果の要旨／金沢大学大学院自然科学研究科

巻:

平成12年6月

開始ページ:

1

終了ページ:

5

バージョン:

publisher

概要:

取得学位：博士(工学)，学位授与番号：博甲第319号，学位授与年月日：平成11年9月30日,学位授与年：1999

URL:

http://hdl.handle.net/2297/16258