ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着性に関する研究

ポリイミドをターゲットとして高周波スパッタリング法により作製した有機薄膜の表面特性と密着性に関する研究

フォーマット:

その他

責任表示:

上村, 彰宏 ; Uemura, Akihiro

言語:

日本語

出版情報:

金沢大学, 2009-06-01

著者名:

掲載情報:

博士学位論文要旨　論文内容の要旨および論文審査結果の要旨／金沢大学大学院自然科学研究科

巻:

平成21年6月

開始ページ:

221

終了ページ:

225

バージョン:

publisher

概要:

取得学位：博士(工学)，学位授与番号：博甲第1085号，学位授与年月日：平成21年3月23日

URL:

http://hdl.handle.net/2297/26940

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受理日:	2009-06-01

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