激しい空気擾乱にも影響されない波長変更干渉計による3次元形状計測法（第2報）

フォーマット:

論文

責任表示:

安達, 正明

言語:

日本語

出版情報:

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering, 2015-01-01

著者名:

安達, 正明  

掲載情報:

精密工学会学術講演会講演論文集 = JSPE Conference

巻:

2015A

通号:

2015 JSPE Autumn Conference

開始ページ:

M66

バージョン:

publisher

概要:

光軸方向に光路差変動が存在する状況下でも使える，波長変更を用いる粗面物体の３次元形状計測法をこれまで研究してきた．しかし環境によっては極めて激しい空気擾乱も存在する．ここではそのような場合を想定し，干渉計近くにドライヤーを持ち込み20cm程度離れた位置から高温空気を測定面に送り込んだ状態で，３次元形状計測を試み，問題点やその解決方法の検討結果を報告する．

URL:

http://hdl.handle.net/2297/45472