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論文 |
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安達, 正明 ; 上田, 覚児 ; 五十島, 一興 ; Adachi, Masaaki ; Ueda, Kakuji ; Isojima, Kazuoki
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />白色干渉垂直走査型形状測定法では,干渉像の「位相とコントラスト情報」から光路差を抽出する.取込む画像毎の位相シフト量をπ/2 とするため、深い凹凸の測定には時間がかかった.そこで我々は青と黄色のLED
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を交互に点灯させ、青では位相シフト量が6π+π/2、黄色では6π-π/2となるようにし,干渉像を通常のCCD カメラで取込んで高速に形状測定をする方法を研究してきた.この方法の絶対精度に関してして報告する.<br />出版者照会後に全文公開
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五十島, 一興 ; 安達, 正明 ; 斎藤, 潤二 ; 嶋, 一史 ; 中山, 彰 ; 山宮, 広之 ; 小林, 友博 ; 杉森, 博 ; 谷, 浩之 ; Isojima, Kazuoki ; Saitoh, Junji ; Shima, Kazufumi ; Nakayama, Akira ; Adachi, Masaaki
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />白色干渉を応用した三次元形状計測装置を開発した.測定法は,物体と参照鏡が作る干渉縞の位相とコントラストから形状を高精度に算出する位相シフト法を用い,位相シフト量を2n π±π /2(n:自然数)とする
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ことにより,高速化を実現した.光源として波長の異なる2つのLEDを使用し,交互に点灯させそれぞれの波長の干渉像を取り込み,取り込んだ画像から形状を測定する.また,高精度で長ストロークな移動ステージを搭載することにより,高速・高精度な形状測定を目指す.<br />出版者照会後に全文公開
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論文 |
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安達, 正明 ; 平野, 勇輝 ; 泉澤, 俊裕 ; 五十島, 一興 ; Adachi, Masaaki ; Hirano, Yuki ; Senzawa, Toshihiro ; Isojima, Kazuoki
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />白色干渉顕微鏡による形状測定では，所定の光路差変更毎に干渉画像を多数枚取得することが求められる．我々は振動環境下でも使える装置を開発するために，顕微鏡に内蔵できるレーザー応用高速変位計の開発を試みた．
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振動により光路差が変動していても，この高速変位計を用いれば，光路差が所定の値になった瞬間に白色干渉画像を取り込むことができ，３次元形状を正しく計測することが可能となるから．このレーザー応用高速変位計を開発した結果に関し報告する.<br />出版者照会後に全文公開
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論文 |
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上田, 覚児 ; 安達, 正明 ; 稲部, 勝幸 ; 五十島, 一興 ; Ueda, Kakuji ; Adachi, Masaaki ; Inabe, Katsuyuki ; Isojima, Kazuoki
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />白色干渉を応用した形状測定法では，物体と参照鏡が作る干渉縞の位相とコントラストから形状を高精度に算出する．一般に，取り込む画像毎の位相シフト量をπ/2とすることが多いが，本研究では位相シフト量を2nπ
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±π/2（n:自然数）とし，シフトスピードを速める．また，光源として波長の異なる2つのLEDを使用し，交互に点灯させそれぞれの波長λ1，λ2の干渉像を取り込み，取り込んだ画像から形状を測定する研究をしている.<br />出版者照会後に全文公開
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