1.

論文
論文
1. 顕微鏡内蔵型レーザ変位計の開発
安達, 正明 ; 平野, 勇輝 ; 泉澤, 俊裕 ; 五十島, 一興 ; Adachi, Masaaki ; Hirano, Yuki ; Senzawa, Toshihiro ; Isojima, Kazuoki
出版情報: 精密工学会学術講演会講演論文集 = 2007 JSPE Autumn Meeting.  2007 Autumn  pp.457-458,  2007.  精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering
URL: http://hdl.handle.net/2297/00049986
概要: 金沢大学理工研究域機械工学系<br />白色干渉顕微鏡による形状測定では，所定の光路差変更毎に干渉画像を多数枚取得することが求められる．我々は振動環境下でも使える装置を開発するために，顕微鏡に内蔵できるレーザー応用高速変位計の開発を試みた． … 振動により光路差が変動していても，この高速変位計を用いれば，光路差が所定の値になった瞬間に白色干渉画像を取り込むことができ，３次元形状を正しく計測することが可能となるから．このレーザー応用高速変位計を開発した結果に関し報告する.<br />出版者照会後に全文公開 続きを見る
2.

論文
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2. 振動環境下で撮影された白色干渉像からの高精度位相抽出
丹羽, 康人 ; 安達, 正明 ; 岩尾, 雄太
出版情報: 精密工学会学術講演会講演論文集.  2011S  pp.1035-1036,  2011-01-01.  精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering
URL: http://hdl.handle.net/2297/45023
概要: 高精度3次元形状計測法の一つに白色干渉顕微鏡がある。この計測方法は縦方向に高い分解能を有するが、外力による振動に弱いという問題があった。この要因として、干渉像の露光中に測定対象が動くために正確な位相が得られないことが挙げられる。本研究では専 … 用に開発したレーザ変位計を用いてリアルタイムに光路差(対象物ステージ移動量)を測定し、露光中の光路差変化量と白色干渉像から正確に位相を抽出する補正法を開発した。 続きを見る
3.

論文
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3. 上下振動している微細構造物の高精度3次元形状測定法の開発
安達, 正明 ; Adachi, Masaaki
出版情報: 平成20(2008)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究成果報告書 = 2008 Fiscal Year Final Research Report.  2006-2008  pp.4p.-,  2009-04-10.  金沢大学機械工学系
URL: http://hdl.handle.net/2297/48184
概要: 垂直走査型の白色干渉形状測定法では装置と測定対象を一定間隔に保ち, 測定ヘッドを数十nmステップで近づけながら, 毎回干渉像を記録する必要があり, 振動環境下では使用不可能だった. 開発した手法では垂直走査型白色干渉顕微鏡内にレ-ザ光を持ち … 込み, 白色光と同軸で被測定面に照射し, レ-ザ干渉像を高速ラインカメラで取り込む. この干渉像をFPGAで高速処理し光路差変化をnm精度で抽出して, 撮影が必要となる光路差のタイミングで白色光をフラッシュさせることで, 振動環境下でも段差を持つ微細構造物の3次元形状を高精度に測定できるようになった.<br />研究課題/領域番号:18560247, 研究期間(年度):2006–2008<br />出典：「上下振動している微細構造物の高精度3次元形状測定法の開発」研究成果報告書　課題番号18560247 (KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）)（https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-18560247/18560247seika/)を加工して作成 続きを見る