1.

図書
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1. NEC・エレクトロニックス・データブック
日本電気株式会社編
出版情報: 東京 : 誠文堂新光社, 1962.5-
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2.

図書
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2. メカトロニクス
石井威望[ほか著]
出版情報: 東京 : 岩波書店, 1985.3
シリーズ名: 岩波講座マイクロエレクトロニクス / 元岡達 [ほか] 編 ; 11
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3.

図書
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3. 超LSI製造・試験装置ガイドブック
工業調査会
出版情報: 東京 : 工業調査会, 1981.11-
シリーズ名: 電子材料別冊
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