1.

図書
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1. 微細加工とレジスト
野々垣三郎著
出版情報: 東京 : 共立出版, 1987.11
シリーズ名: 高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3
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2.

図書
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2. 超微細加工技術
応用物理学会編 ; 徳山巍編著
出版情報: 東京 : オーム社, 1997.2
シリーズ名: 応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース||センモン コース
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