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VLSIの薄膜技術
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : 丸善, 1986.9
- 形態:
- xii, 250p ; 22cm
- 著者名:
- シリーズ名:
- 電子材料シリーズ <BN00201165>
- 書誌ID:
- BN00435789
- ISBN:
- 9784621031124 [4621031120]
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