1.

図書
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1. シリコンフォトニクス
Lorenzo Pavesi, David J. Lockwood共編 ; 木村達也訳
出版情報: 東京 : オーム社, 2017.11
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目次情報:
材料と基本技術
部品と集積技術
システムと応用
材料と基本技術
部品と集積技術
システムと応用
2.

図書
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2. 集積回路のための半導体デバイス工学
小林清輝著
出版情報: 東京 : コロナ社, 2018.4
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3.

図書
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3. 半導体の高次元化技術 : 貫通電極による3D/2.5D/2.1D実装
傳田精一著
出版情報: 東京 : 東京電機大学出版局, 2015.4
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4.

図書
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4. シリコン貫通電極TSV : 半導体の高機能化技術
傳田精一著
出版情報: 東京 : 東京電機大学出版局, 2011.4
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5.

図書
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5. 三次元実装のためのTSV技術
傳田精一著
出版情報: 東京 : 工業調査会, 2009.7
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6.

図書
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6. はじめての半導体シリコン
福田哲生著
出版情報: 東京 : 工業調査会, 2006.9
シリーズ名: ビギナーズブックス ; 42
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7.

図書
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7. シリコン集積素子技術の基礎
R.M.バーガー, R.P.ドノファン編 ; 菅野卓雄監訳
出版情報: 東京 : 地人書館, 1970
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8.

図書
図書
8. SOI構造形成技術
古川静二郎編著
出版情報: 東京 : 産業図書, 1987.10
シリーズ名: 集積回路プロセス技術シリーズ
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9.

図書
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9. シリコン結晶とドーピング
阿部孝夫, 小切間正彦, 谷口研二著
出版情報: 東京 : 丸善, 1986.6
シリーズ名: 電子材料シリーズ
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10.

図書
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10. シリコンウェーハ表面のクリーン化技術. 新版
服部毅編著
出版情報: 東京 : リアライズ社, 2000.5
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