1.

図書
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1. Lecture notes on principles of plasma processing
Francis F. Chen and Jane P. Chang
出版情報: New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers, c2003
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2.

図書
図書
2. Principles of plasma discharges and materials processing
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
出版情報: New York : Wiley, c1994
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3.

図書
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3. Plasma chemistry in electrical discharges
by F. K. McTaggart
出版情報: Amsterdam : Elsevier, 1967
シリーズ名: Topics in inorganic and general chemistry ; monograph 9
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