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プラズマ反応による物質合成と材料処理

フォーマット:
図書
責任表示:
理化学研究所
言語:
日本語
出版情報:
東京 : アイオニクス, 1984
形態:
226p ; 26cm
著者名:
理化学研究所 <DA01164874>  
シリーズ名:
アイオニクス叢書 <BN00978004>
書誌ID:
BN01056265
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