※一部利用できない機能があります
| 1.
論文 |
論文
|
田中, 隆尚 ; 安達, 正明 ; Tanaka, Takanao ; Adachi, Masaaki
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />変位・変形・振動は各分野において基本的な計測量であり、多様な計測法が開発されてきた。特に光学的手法による計測法は、非接触で高感度に測定ができることから注目を集めている。本研究では、スペックル干渉を用い
…
た振動測定における「振動振幅の増加に伴う物体像再生強度の低下」、「振動の位相が分からない点」を改善すべき問題点に取り上げ、半導体レーザーの波長可変性を利用した対策を提案する。<br />出版者照会後に全文公開
続きを見る
|
||||
| 2.
論文 |
論文
|
並木, 太郎 ; 安達, 正明 ; Namiki, Taro ; Adachi, Masaaki
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />機械の振動には、1種の振動だけでなく1～50Hz程度の大振幅振動と1kHz程度の微小振幅振動が混合したものがある。このような振動において、微小振幅振動の振幅分布を調べようとしても、大振幅振動の影響で振
…
幅が調べられなかった。よって、本研究では、このような混合振動において、カメラのシャッター時間を通常よりも短くすることで、大振幅振動の影響を受けずに微小振幅振動の振幅分布を求める方法の開発を行った。<br />In the manufucturing process, motion of machines sometimes generates high-frequency sound. So it is required to suppress high-frequency vibration in working machines. In this research, we try to develop how to measure vibration-mode of high-frequency vibration in machine which small-amplitude and high-frequency and large-amplitude and low-frequency.<br />出版者照会後に全文公開
続きを見る
|
||||
| 3.
論文 |
論文
|
安達, 正明 ; 平野, 勇輝 ; 泉澤, 俊裕 ; 五十島, 一興 ; Adachi, Masaaki ; Hirano, Yuki ; Senzawa, Toshihiro ; Isojima, Kazuoki
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />白色干渉顕微鏡による形状測定では，所定の光路差変更毎に干渉画像を多数枚取得することが求められる．我々は振動環境下でも使える装置を開発するために，顕微鏡に内蔵できるレーザー応用高速変位計の開発を試みた．
…
振動により光路差が変動していても，この高速変位計を用いれば，光路差が所定の値になった瞬間に白色干渉画像を取り込むことができ，３次元形状を正しく計測することが可能となるから．このレーザー応用高速変位計を開発した結果に関し報告する.<br />出版者照会後に全文公開
続きを見る
|
||||
| 4.
論文 |
論文
|
安達, 正明 ; 河村, 昌範 ; 岩尾, 雄太 ; Adachi, Masaaki ; Kawamura, Masanori ; Iwao, Yuuta
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />垂直走査型干渉顕微鏡を用いる形状計測法は外部振動の影響を極めて受けやすい．我々は，外部振動の影響を受けない形状測定法の開発を目指して，測定対象とする粗面が作る干渉像の垂直走査に伴う変化から，干渉計の光
…
路差変化量を高精度に測定する方法を研究して来た．そして，粗面でも光路差変化量が測定可能であることを確認した．今回は，用いる対物レンズの開口の大きさの測定値への影響を実験的に調べたので報告する.<br />出版者照会後に全文公開
続きを見る
|
||||
| 5.
論文 |
論文
|
丹羽, 康人 ; 安達, 正明 ; 岩尾, 雄太
概要:
高精度3次元形状計測法の一つに白色干渉顕微鏡がある。この計測方法は縦方向に高い分解能を有するが、外力による振動に弱いという問題があった。この要因として、干渉像の露光中に測定対象が動くために正確な位相が得られないことが挙げられる。本研究では専
…
用に開発したレーザ変位計を用いてリアルタイムに光路差(対象物ステージ移動量)を測定し、露光中の光路差変化量と白色干渉像から正確に位相を抽出する補正法を開発した。
続きを見る
|
||||
| 6.
論文 |
論文
|
安達, 正明
概要:
振動下にある垂直走査型干渉計の光路差変化をレーザでリアルタイムかつ高速高精度に計測する手法を開発し,変化情報を基に一定の位相変化終了後毎にLED光を瞬間点灯させ干渉縞を撮影した.この手法で計測した形状結果を分析しさらなる高精度化には点灯 &
…
露光中に加わる振動もその影響を補正する必要を見出し,露光中の光路差変化履歴を基に振動影響を補正して位相を抽出する方法も開発し,その効果を実験で確認した.<br />We have developed a new measurement technique for nm-level change of an optical-path-deference(OPD) using laser. This technique can measure OPD of a vertical-scan interference microscope real time and high speed. With the technique we can trigger LED flashings and interferogram exposures right after predefined phase changes even under vertical vibrations. Analyzing the measured 3D-shape obtained with the technique results in that affects of vibration during the exposure should be corrected for higher precision shape measurement. Then we have developed another technique which can extract interference phase just on the exposure-start moment from vibration-affected interferogram intensities and history of OPD changes during the exposure. Validity of the developed technique is proved by experiments using the vertical-scan interference microscope with intentionally generated pulse-like vibration.<br />研究課題/領域番号:21360115, 研究期間(年度):2009–2011
続きを見る
|
||||
| 7.
論文 |
論文
|
安達, 正明 ; Adachi, Masaaki
概要:
垂直走査型の白色干渉形状測定法では装置と測定対象を一定間隔に保ち, 測定ヘッドを数十nmステップで近づけながら, 毎回干渉像を記録する必要があり, 振動環境下では使用不可能だった. 開発した手法では垂直走査型白色干渉顕微鏡内にレ-ザ光を持ち
…
込み, 白色光と同軸で被測定面に照射し, レ-ザ干渉像を高速ラインカメラで取り込む. この干渉像をFPGAで高速処理し光路差変化をnm精度で抽出して, 撮影が必要となる光路差のタイミングで白色光をフラッシュさせることで, 振動環境下でも段差を持つ微細構造物の3次元形状を高精度に測定できるようになった.<br />研究課題/領域番号:18560247, 研究期間(年度):2006–2008<br />出典：「上下振動している微細構造物の高精度3次元形状測定法の開発」研究成果報告書 課題番号18560247 (KAKEN：科学研究費助成事業データベース（国立情報学研究所）)（https://kaken.nii.ac.jp/report/KAKENHI-PROJECT-18560247/18560247seika/)を加工して作成
続きを見る
|
