1.

図書
図書
1. Lecture notes on principles of plasma processing
Francis F. Chen and Jane P. Chang
出版情報: New York : Kluwer Academic/Plenum Publishers, c2003
所蔵情報: loading…
2.

図書
図書
2. Principles of plasma discharges and materials processing
Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg
出版情報: New York : Wiley, c1994
所蔵情報: loading…