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干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定

フォーマット:
論文
責任表示:
安達, 正明 ; 河村, 昌範 ; 岩尾, 雄太 ; Adachi, Masaaki ; Kawamura, Masanori ; Iwao, Yuuta
言語:
日本語
出版情報:
精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering, 2009
著者名:
安達, 正明
河村, 昌範
岩尾, 雄太
Adachi, Masaaki
Kawamura, Masanori
Iwao, Yuuta
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掲載情報:
精密工学会学術講演会講演論文集 = 2009 JSPE Spring Meeting
巻:
2009 Spring
通号:
K37
開始ページ:
807
終了ページ:
808
バージョン:
publisher
概要:
金沢大学理工研究域機械工学系<br />干渉顕微鏡を用いた垂直走査型3D形状計測では観察面を一定量高精度に垂直移動させながら干渉画像を取得する必要がある.この方法を振動環境下でも使用したいと考える.そこで顕微鏡観察下の粗面の垂直変位量をラインカメラで高精度に計測する手法を研究した.実験では垂直走査しながら2Dカメラを用いて干渉像を連続取込みし,複数線上の光強度を抜き出し,抜き出し位置による変位測定値の違いが最小になる処理方法を追求した.<br />出版 者照会後に全文公開 続きを見る
URL:
http://hdl.handle.net/2297/00049993
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安達, 正明, 河村, 昌範, 岩尾, 雄太, Adachi, Masaaki, Kawamura, Masanori, Iwao, Yuuta

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

並木, 太郎, 安達, 正明, Namiki, Taro, Adachi, Masaaki

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, 河村, 昌範, 岩尾, 雄太

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, 大杉, 博人, 平林, 崇, 稲部, 勝幸

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, Adachi, Masaaki

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, 平野, 勇輝, 泉澤, 俊裕, 五十島, 一興, Adachi, Masaaki, Hirano, Yuki, Senzawa, Toshihiro, Isojima, Kazuoki

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, 平野, 勇輝, 河村, 昌範, 岩尾, 雄太, Adachi, Masaaki, Hirano, Yuuki, Kawamura, Masanori, Iwao, Yuuta

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

田中, 隆尚, 安達, 正明, Tanaka, Takanao, Adachi, Masaaki

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, Adachi, Masaaki

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, 北川, 洋一, 松本, 哲也, 稲部, 勝幸

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

安達, 正明, 平野, 勇輝, 河村, 昌範, 岩尾, 雄太

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering

藤本, 健太, 安達, 正明, Fujimoto, Kenta, Adachi, Masaaki

精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering