著者典拠情報

標目形：
伊藤, 隆司||イトウ, タカシ
属性：
Personal
注記：
(株)富士通研究所半導体研究部
EDSRC:VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著(丸善, 1986.9):奥付
著者典拠ID：
DA00493531


1.

図書
図書
1. VLSIの薄膜技術
伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
出版情報: 東京 : 丸善, 1986.9
シリーズ名: 電子材料シリーズ
2.

図書
図書
2. ULSIデバイス・プロセス技術
伊藤隆司編著 ; 電子情報通信学会編
出版情報: 東京 : 電子情報通信学会 , 東京 : コロナ社 (発売), 1995.2